电子显微镜下碳层厚度的评价

然而，这种方法应用于碳层有一些缺点。碳蒸发产生的热和光会影响石英的频率。只有经过一段时间，一个稳定的值才能给出一个合理的厚度测量。图1和图2说明蒸发过程如何随时间影响石英晶体的频率。闪光蒸发以全功率燃烧整个螺纹。脉冲蒸发是在规定的短电压下进行的，以沉积少量的碳材料。闪光蒸发得到较厚的最终层，但结果仅由螺纹截面决定。在瞬间蒸发过程中，样品上产生了相当大的热量。利用脉冲蒸发，应用层由每脉冲功率、脉冲时间和脉冲数定义。脉冲过程中产生的热量比闪蒸过程中产生的热量低。

软件控制脉冲蒸发碳螺纹的创新方法(由徕卡微系统开发的新范围188金宝搏的网址徕卡EM ACE涂布工)简化了以前复杂的过程。在每个确定的短脉冲之后，测量所施加的厚度。信息被反馈到过程控制和进一步的脉冲执行或涂层成功完成。这种方法第一次具有很高的精度，可以创建1或2纳米厚度的薄层，并且无需高水平的经验即可再现。

如果有人想评估碳层的厚度，但石英晶体测量系统是不可用的，有一个简单的视觉测试。对于参考测试，这也是一种非常有用的方法。

碳蒸发到镀金的封面滑片或测试箔(铝)显示显着差异的颜色根据厚度(见下面的刻度)。盖片或测试箔溅射涂上约50纳米的黄金或直到它看起来完全是金色。该图像显示了涂有不同厚度碳的金色封面卡瓦。从左到右:无涂层金，然后从10纳米开始，步骤5纳米到40纳米碳涂层。

通过颜色对比直观检测金箔上碳层厚度的原理:

如果你没有可用的石英测量仪，这是一个简单的测试，但它不会补偿石英测量系统的强度。涂层工艺完成后，对涂层厚度进行评估。因此不能用于涂装过程中的反馈。显然，这是一个粗略的评估，精度为+/ -几纳米。它不能给出关于沉积碳层的纳米精确信息，也不能给出再现性。集成脉冲测量可确保在+ 0.5 nm范围内重现性。