2016年12月22日故事

多层系统的横截面 - 用于EBSD的完美样品表面的制备

Leica EM TIC 3X - 工业制造的应用笔记

电子反向散射衍射（EBSD）是一种形成衍射图案（Kikuchi频带）的表面技术。它可用于晶体取向映射，缺陷研究，相位鉴定，晶界研究和形态学研究。信息深度仅为几个nm。

因此，良好的样品制备对于避免任何损害非常重要。在多层系统具有大差异的多层系统的情况下非常困难。

流程说明
（此特定样本的基准值）
机械预制准备徕卡em txp.在2600 rpm下使用9μm金刚石研磨箔。

结果

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