范廷德罗;高奎林
用于原子分辨分析材料的TEM样品制备程序
188金宝搏的网址徕卡微系统应用笔记，2015年10月
摘要
TEM样品制备简单-用宽束氩离子铣削制备TEM样品
高空间分辨率的定量分析对产品质量提出了严格的要求TEM标本。原子分解离不开原始的高质量样品TEM分析。在本应用程序中，请注意获取横断面和平面视图的一般程序TEM标本使用徕卡EM RES102介绍了离子磨粉系统。下面描述的过程可以很容易地适用于各种材料，例如薄膜材料、半导体、多层材料、陶瓷、超导体、……
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