离子抛光通常是样品制备的最后一步。由于样品表面有很深的划痕，不能进行离子抛光，因此必须进行完美的机械预处理。在机械抛光后，软材料通常会有样品表面的涂抹。在离子抛光前，有必要去除这种污损的材料。否则上述抛光效果无效。
油页岩样品的抛光
油页岩由于有机和无机组分的硬度不同，机械抛光比较困难。表面常常不是完全平坦的。机械抛光后的最终离子抛光可以大大提高表面质量。另一方面，在进行离子抛光前，试样表面应尽量保持良好。因此，这两个步骤的结合应该是取得好结果的正确途径。
制备参数
| 加速电压: | 6 kV |
| 枪景: | 2.2马 |
| 样本运动: | 区域模式 |
| 铣削角度: | 3° |
| 加工时间: | 6小时 |
结果
图片显示的是经过机械抛光和额外离子抛光的油页岩样品。由于油页岩各组分的硬度不同，其表面质量不适于成像。对直径约20毫米的区域进行额外的离子抛光可以获得更好的表面质量。现在观察结构细节是可能的。
镍基高温合金的抛光
通常机械抛光后的样品表面并非完全无损伤。表面损伤深度是研磨箔颗粒尺寸的三倍。离子抛光是去除这种损伤的好工具。它可以用于扫描电镜和TEM样本。
制备参数
| 加速电压: | 7 kV |
| 枪电流: | 2.6马 |
| 样本运动: | 旋转 |
| 铣削角度: | 5° |
| 加工时间: | 3 h |
结果
图5-6显示的是经过机械抛光和附加离子抛光后的镍基高温合金。样品表面经过机械抛光后有很多细小的划痕。这是有可能去除所有这些划痕，并实现一个良好的表面后，一个额外的3小时离子抛光。
