故事

多晶金属的对比度增强- SEM样品制备

徕卡EM RES102的应用说明-材料研究

目的
离子铣削是化学蚀刻的一个完美的替代方案，特别是对多晶金属，如铜。离子铣削可以提高晶粒结构及其界面的对比度。与化学蚀刻相比，铣削过程干净、安全、易于操作。离子能量和铣削时间取决于金属的铣削速率。

工艺参数

加速电压: 2千伏
枪电流: 1.5马
铣削角度: 50°
加工时间: 3分钟


结果
铜的磨铣率高，磨铣时间短，仅需3min，晶粒结构清晰可见。

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离子束斜切后的铜表面

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