制备条件
在离子束铣削工艺的帮助下，对地面部分进行清洗和选择性铣削。在此过程中，测试了不同的铣削角度和时间。
| 加速电压: | 6 kV |
| 铣削角度: | 15°和90° |
| 加工时间: | 变量 |
| 样本运动: | 旋转 |
结果
将样品表面清洗干净，并以15°的铣削角度进行轻度选择性铣削。然而，为了获得有效的对比，样品必须以更陡的角度铣削。然而，只有在额外的90°铣削后，结构对比度才会显著增加。所需的铣削时间取决于材料组合和手头的任务，因此必须为每个不同的制备问题确定。
金线粘合(45分钟抛光，3分钟对比度增强)
离子抛光后的金线键合看起来很完美。可见金的晶粒结构和粘结区结构(图5)。然而，一个额外的对比度增强步骤可以暴露精细的结构，如中间层。
1.抛光
| 加速电压: | 6 kV |
| 枪电流: | 2.2马 |
| 样本运动: | 振荡±60° |
| 铣削角度: | 6° |
| 加工时间: | 45分钟 |
2.对比度增强
| 加速电压: | 3 kV |
| 枪电流: | 1.6马 |
| 样本运动: | 振荡±60° |
| 铣削角度: | 35° |
| 加工时间: | 6分钟。 |
结果
图6为短对比度增强步骤的结果。现在键区内部结构清晰可见。
铜丝键合(1h 45 min抛光，5 min对比度增强)
1.抛光
| 加速电压: | 6 kV |
| 枪电流: | 2.2马 |
| 样本运动: | 振荡±60° |
| 铣削角度: | 6° |
| 加工时间: | 1 h 45分钟 |
2.对比度增强
| 加速电压: | 3 kV |
| 枪电流: | 1.8马 |
| 样本运动: | 振荡±60° |
| 铣削角度: | 35° |
| 加工时间: | 5分钟 |
