徕卡D12000 M은매크로모드(宏观模式)，경사UV조명(斜UV照明，OUV)등의광학기능을새롭게도입하여인12치웨이퍼의검사시해상력이향상되고샘플처리량(吞吐量)을늘립니다。
领导조명은현미경에완전히통합돼있습니다。램프하우징의방해를받지않아현미경주위의공기흐름이최적화됩니다。수명이길고전력소모가극히적어비용을크게절감할수있습니다。
버튼만한번누르면배율이나조명내지콘트라스트모드를변경할수있습니다。
关键特性
매크로배율(최대4배까지)
매크로배율(宏观放大)이일반스캐닝대물렌즈시야(视野)의4배에해당합니다。
최고해상도
紫外线조새로운경사명모드(OUV)는경사조명을자외선과결합해어느각도에서든표본을최고해상도로관찰할수있습니다。
간공학적설계
장시간의현미경작업에맞춰최적화되었고직관적으로조정할수있고이용자의수준에따라쉽게변경할수있습니다。
领导조명
통합领导了조명은공기흐름을최적화합니다。또한오랜수명과낮은소모전력으로비용을크게절감할수있습니다。