반도체，ic패키징，ic어셈어셈테스트테스트테스트

매우부드러운표면경우간섭측정이미징이미징은은은은까지의표면텍스처를촬영할있습니다있습니다있습니다。전체스캔필요시간은은은초초입니다입니다입니다。

콘트라스트방법：a）b감지감지요b）b）명시야명시야사용입자입자입자입자，c）암시야암시야암시야를사용사용한，d）미분마이크로스크래치，d）미분미분（dic）를콘트라스트콘트라스트콘트라스트콘트라스트콘트라스트콘트라스트콘트라스트스크래치각조명하는소요되는은단몇입니다입니다입니다。

고성능광학장치

고품질광학및장치검사를효율으로수행수있습니다있습니다있습니다。세부정보명확하게볼있기입니다입니다입니다。라이카마이크로이미징은왜곡이없는를생성수상을보유한한성능의광학장치를사용합니다。광학장치이한두유형의발생할있습니다있습니다있습니다。

• 난시，코마，필드곡률단색（빛[색상]과무관）
• 색（빛빛파장따라달라짐）

라이카마이크로광학와가하는광학를사용하면최적의콘트라스트와해상도로해상도로웨이퍼와장치장치검사검사할할수있습니다있습니다。