• "> 暗视野显微镜

    • 신속한발견，신속한대응

    마이크로일렉트로닉스및반도체용검사시스템DM3 XL

    마이크로일렉트로닉스및반도체산업에서검사,공정제어또는결함및고장분석에서는속도가매우중요합니다。결함을더빨리발견할수록더빨리대응할수있습니다。

    30%향상된시야

    DM3 XL검사시스템은넓은시야덕분에결함을더빠르게발견하고수율을높일수있습니다。특수한매크로대물렌즈의30%향상된시야를이용해보십시오。

    향상된시야，빨라진작업속도

    더많은것을볼수있으면더빠르게작업할수있습니다。최대6”의대형부품을빠르게검사할수있도록DM3 XL은특수한매크로대물렌즈를제공합니다。

    0.7 x의배율로35.7毫米의시야를한번에캡처할수있습니다(기존의다른대물렌즈보다30%향상)。

    매크로대물렌즈를사용하면결함을놓칠염려가없습니다。

    • 수율가
    • 웨이퍼의가장자리나중심부의불충분한현상을빠르게발견
    • 균일하지않은반경방향막두께발견

    모든콘트라스트방법에领着사용

    Dm3 xl은모든콘트라스트방법에led조명을사용합니다。조명은일정한색온도를보장하고모든세기수준에서실제색이미징을제공합니다。

    • 모든세기수준에서실제색이미징
    • 조절불필
    • 전구교체불필작동중단시간없음
    • 결과의재현

    는긴수명과낮은전력소모덕분에비용절감효과도큽니다。

    뛰어난광학성능

    Dm3 xl은합리적가격으로뛰어난광학성능을제공합니다。

    • 경사조명을사용한측면,가장자리또는치핑검사:국소해부를시각화하는쉽고효과적인방법으로서로다른각도에서시료에빛을비춥니다。
    • 심층암시야콘트라스트를통해시료의낮은층에서미세한긁힘이나작은입자를발견할수있습니다。

    감도와해상도가크게향상되었습니다。

    徕卡대물렌즈에대한자세한정보는徕卡光学中心에서확하실수있습니다。

    다양한시료-가변스테이지通讯录서트

    검사할시료의크기와유형에상관없이다양한스테이지서트중에서선택할수있습니다。

    • 스테이지크기:150mm x 150mm
    • 스테이지서트:금속서트，웨이퍼홀더，마스크홀더
    • 신속한비미세또는미세스테이지위치설정

    편하고편리한작업

    기본적인해상도,콘트라스트및심도설정을단순화하는CCDA(颜色编码的隔膜助理)가작업속도를높이고작동오류를최소화합니다。

    편리하고직관적기능으로최적의결과를더빨리도출할수있습니다。

    • 쉽게접근할수있는컨트롤을사용해콘트라스트나조명을전환하면서눈으로는시료를보고손으로는현미경을조작할수있습니다。
    • 오른손으로조명세기컨트롤러를쉽게조작할수있습니다。
    • 가변ErgoTubes와초점조절손잡이를사용해현미경을신체높이에맞출수있습니다。

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