Fraunhofer制造工程和自动化研究所（FraunhoferInstitutfürProduktionStechnikund Automatisierung [IPA]），清洁技术（REINHETSTECHNIK），Ultraclean Technology（Reinheitstechnik），Ultraclean Technology和MicroManufacturedupt.（Abteilung Reinst-und Mikraproduktion），斯图加特，德国

www.ipa.fraunhofer.de/reinst_und_mikreoproduktion.81.0.html?&l=2