Fraunhofer制造工程与自动化研究所(FraunhoferInstitutfürProduktionstechnikund Automatierung [ipa]),清洁技术(Reinheitstechnik),UltraClean Technology和Microhanfuct.

www.ipa.fraunhofer.de/reinst_und_mikroproduktion.81.0.html?&l=2