高分解能なTEM観察,FE-SEMでの解析に
高性能・多機能ライカEM ACE600は,FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに,各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良いコーティング層を成膜することが出来ます。
EM ACE600では,次の構成が可能です:
スパッタリング,カーボンスレッド蒸着,カーボンロッド蒸着,E -ビーム蒸着,光芒ディスチャージによる親水化処理など。
また,ライカEM VCT100真空クライオ・トランスファーシステムとの接続が可能です。ソリューション型のシステムのため,各種の装置とリンクする事が可能です。クライオSEMをはじめとする真空系,また,大気非暴露の解析装置用に,コンタミ・フリーの理想的な前処理ソリューションを実現できます。
仅供研究用途
关键特性
高い再現性
水晶膜厚ユニットと自動制御の3軸可動の試料ステージなどを装備し,フル・オートメーション化したプロセスは,パラメータとプロトコル・セッティングを快適にサポートします。
クリーニングのしやすさ
フロント・ドア,ソース・シャッター,チャンバーの内部遮蔽ユニット,さらに蒸着源とステージは容易に着脱可能で,高品質サンプルを前処理するための清浄環境を確実にします。
コンパクト設計
小さな設置面積は,より有効に研究室スペースを活用いただけます。
簡単操作
直観的操作のタッチスクリーンを搭載。フロント・ドアは,快適なロック機能付です。さらに,ターゲット交換はツール・レス,コネクタは,簡単なプッシュ操作で完了です。
カスタマイズ可能な多機能性
ACE600の構成には,多様なニーズを満たす選択性があります。
クライオ・コーティング
標準的な室温環境のコーティング装置に,オプションのクライオシステムを組み込む事が可能です。ソリューション型の真空クライオトランスファーシステムを接続する事で,クライオ真空環境下での導電性コーティングか可能となります。さらに,温度と真空環境を維持したまま,次の解析装置まで搬送が可能です。
