マ邮箱クロエレクトロニクスおよび半導体製造に最適な検査システムDM3 XL

より多くの情報で，より早く次のアクション

ひと目で広い視野で観察できることで，検査のスピ。DM3 XLは、最大 6 インチまでの大型部品を迅速にスキャンできるユニークなマクロ対物レンズを備えています。

マクロ対物レンズを使用して，35.7毫米の広い視野を一度に観察できます。これは従来のスキャニング用対物レンズよりも30%大きな視野です。

マクロ対物レンズの採用により，欠陥箇所を見逃しません:

• 歩留まり率の向上にながります。
• ウェハの周縁部または中心部の加工不良をより正確に検出します。
• 膜厚の不均一をすばやく検出します。