高真空镀膜系统适用范围广泛

配备了一个可配置的金属加工室,EM ACE600溅射涂布机是灵活的,可以适应广泛的应用。通过在单个制备过程中运行多达两个不同的源,甚至配置EM ACE600用于高级冷冻工作流程,实现您的工作流程目标并满足实验室的需求。

你是否需要……

  • 对平面或结构的非导电样品进行高分辨率成像
  • 增强纳米级结构的对比度,如蛋白质或DNA链
  • 生产薄,但强的支撑层TEM网格或
  • 为敏感样品提供保护层
  • 扩展系统用于低温应用

…有了EM ACE600碳和溅射涂布机,你就能覆盖它了。

emace600碳素,电子束和溅射涂布机,带低温转移坞

具有溅射涂层的可重复的高质量薄膜

使用EM ACE600高真空镀膜系统生产高质量的溅射镀膜薄膜。由于自动化,基于收据的溅射涂层工艺,满足您先进涂层需求的正确条件,并实现可重复的结果。

执行高达200kX及以上的高倍扫描电镜分析,具有<2x10-6 mbar的优良基础真空和精细平衡的溅射目标范围的工艺参数。根据样品形态的需要,调整样品距离和涂布角度。

为了进一步提高涂层效果,您可以使用迈斯纳陷阱将真空增加到10-7毫巴,然后尝试溅射目标或对氧气敏感的样品材料。

在SiOx基态上沉积2nm厚的不同材料细晶粒溅射涂层,放大200kX。

可重复,高质量的薄膜与碳涂层

使用EM ACE600,您可以通过使用碳线涂层,碳棒涂层或电子束蒸发来生产高质量的碳薄膜。

碳丝蒸发已成为一种广泛应用的方法

188金宝搏的网址徕卡微系统开发了独特的自适应脉冲方法,实现到EM ACE600。它可以产生精确的、坚固的、亚纳米厚度的非晶薄膜,同时最大限度地减少对样品的热影响。无论您是需要纳米薄,强,干净的TEM支撑层,扩散(保护)涂层,还是大型均匀碳层,碳螺纹都是正确的选择。

对于专用应用,如旋转阴影,您可以使用电子束蒸发器。它的小光束发散是理想的阴影涂层,以增强纳米尺度结构的边缘对比度。

精确积碳1 - 5纳米厚的碳膜

根据您的需要调整EM ACE600

由于EM ACE600的大型可配置金属加工室,在单个涂膜仪器中运行多个工艺而不破坏真空。同时,将溅射头与先进的碳线蒸发器结合起来,或选择两个溅射源,在单一制备过程中实现多层金属涂层。

  • 由于优化的双源概念,具有两个角度端口和一个旋转舞台,在整个100毫米舞台上产生均匀分布的薄膜
  • 选择从稳健的碳螺纹,电子束,和溅射涂布机来源
  • 装备您的EM ACE600辉光放电溅射
  • 可随时在现场升级
ACE600可配置两源接口。可选:1碳螺纹蒸发| 2-溅射| 3碳棒蒸发| 4-电子束蒸发

把注意力集中在准备过程中的关键部分

通过使用EM ACE600碳和溅射涂布机,您的常规样品制备只需按下一个按钮即可完成。简单可靠的工作流程和方便的标准操作程序使您能够专注于EM样品制备的关键部分。您可以集中精力优化您的工作流程,而花更少的时间学习如何操作系统或培训其他人如何使用它。

  • 通过前门安全装卸敏感样品
  • 基于工作流的用户界面和对相关参数的快速访问指导了方法
  • 重量轻,坚固耐用,方便日常处理
EM ACE600触摸屏操作,具有基于工作流的用户界面

展开到低温工作流

通过在低温条件下涂层样品,打开您的实验室进行全方位的电子显微镜实验。EM ACE600碳和溅射涂布机支持研究样品制备,如生物样品在其原生和水化状态下的结构分析,通过进行冷冻断裂和冷冻涂层,然后在EM VCT500转移系统的帮助下将冷冻样品转移到SEM中。

EM ACE600提供:

  • 用于冷冻样品传输的接口
  • 在低温条件下进行涂层的低温阶段
  • 一种基本断裂装置制造方法及图纸
EM ACE600配备EM VCT500低温传输系统

选择最优配置

通过配置您的EM ACE600碳和溅射涂布机,满足您日常实验室工作的需求。

选择从广泛的样品夹和阶段,如3轴阶段多达3个电动轴或专用冷却阶段。

可快速更换舞台碟,使您的EM ACE600成为多功能工具。

1:电动3轴阶段| 2:旋转阴影(LARS-)阶段| 3:旋转“手动”阶段| 4:冷冻阶段

超薄碳膜

碳涂层在电子显微镜中有多种应用。它需要导电,但不可见的电子束,不应该有颗粒结构。

EM ACE600碳螺纹自适应脉冲生产的薄膜厚度精确,强度高,导电,甚至可以烘烤以进一步减少污染。最终,这类电影提供了:

  • 电子透明度高
  • 足以承受电子轰击的强度
  • 均匀的厚度,对分析研究,定量成像或电子断层扫描至关重要
A:常规碳膜(15纳米碳);B:超薄碳膜(3nm)。易于观察CdSe量子板的晶格。图片由Eva Bladt和Sara Bals (EMAT,安特卫普大学)获得,比利时。由Frederic Leroux和Jan de Weert提供。样本由:Daniel Vanmaekelbergh提供,德拜纳米材料科学研究所,乌得勒支大学

旋转阴影-使纳米级结构可见

配置您的EM ACE600与专用的低角度旋转阴影(LARS)设置,以便您可以成像纳米尺度的结构,如蛋白质或DNA链,在TEM。EM ACE600电子束源和电动LARS级结合了定向、低热冲击、薄膜沉积和优化的掠入射沉积级几何结构。一旦DNA链以一个小角度被细粒铂层阴影覆盖,就会添加碳层以稳定脆弱的结构,以便在TEM中分析。

EM ACE600电子束涂布仪使用低角度旋转阴影获得的出芽酵母S.cerevisiae DNA复制叉的TEM图片

为你的实验选择正确的工作流程

EM ACE600可帮助您在进行材料科学和生物实验时获得高质量的结果。工作流程包括标准TEM和SEM样品制备,切片断层扫描3D工作流程,FIB SEM等。有关工作流解决方案的详细信息

  • 生命科学研究,下载工作流程手册
  • 材料科学研究,下载工作流程手册

标准SEM工作流程

用标准的扫描电镜工作流程研究化学固定样品的表面结构。用EM TP组织处理器准备样品,然后用EM CPD300进行临界点干燥。下一步是用EM ACE200或EM ACE600涂覆样品,然后在SEM中成像。

(1)自动组织处理(EM TP) |(2)自动临界点干燥(EM CPD300) |(3)碳和/或溅射涂层(EM ACE200 / EM ACE600) |(4)扫描电镜图像分析

SEM / LM固态制备-宽离子束截面

这种技术最常用于固态扫描电镜样品,但也可以应用于LM调查。当样品有一定的目标要暴露观察时,需要对样品进行良好的切割,以得到感兴趣部分的内部结构。然后,对于不导电的样品,需要涂覆涂层,使样品适合扫描电镜观察。

(1) -(3)横截面,目标制备,磨削(EM TXP) |(4)和(5)离子束铣削和高端抛光(EM TIX 3X或EM RES102) |(6)涂层(EM ACE200 / EM ACE600) | (7) SEM分析

低温扫描电镜样品制备及转移宽离子束截面

这种低温转移工作流程用于高压冷冻样品,包括硬和脆的材料(例如粘土和石英)。在整个制备过程中,样品必须保持在-150°C的温度,从高压冷冻,到使用冷冻锯进行机械预制备,然后是离子束铣削步骤,最后将其转移到Cryo-SEM。

(1)高压冷冻(EM ICE) |(2)-(3)横截面和切割(EM VCM) |(4)转移(EM VCT500) |(5)离子束铣削(EM TIC 3X) |(6)转移(EM VCT500) |(7)涂层(EM ACE600) |(8)冷冻扫描电镜分析

SEM / LM固态制备-宽离子束抛光

该技术用于大型固态SEM或LM样品。当大面积(几平方厘米)的样品必须以最高质量水平(例如EBSD)进行研究时,样品会被机械预制备(镜面光面),最后用离子束抛光方法制备。

(1)和(2)堆焊和抛光(EM TXP) |(3)和(4)离子束铣削和高端抛光(EM TIC 3X或EM RES102) |(5)涂层(EM ACE200 / EM ACE600) | (6) SEM分析

三维断层扫描工作流程

有了这个工作流程,您可以在定义的3D体积内研究生物结构的组织和相互作用。第一步是在室温下处理样品,然后在TEM网格上进行半厚连续切片。染色步骤完成后,进行TEM成像。

(1)自动组织处理(EM TP) |(2)修剪(EM TRIM2) |(3)串行切片(EM UC7) |(4)染色(EM AC20) |(5)透射电镜图像分析

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