看得多,做得快

看到更多意味着更快地工作。为了快速扫描高达6英寸的大型组件,dm3xl提供了一个独特的宏观目标。

它的放大倍数为0.7倍,一次可捕获35.7毫米的视场,比其他传统扫描物镜多30%。

在宏观目标下,缺陷是不可能存在的:

  • 提高产量
  • 可靠地检测晶圆片边缘或中心的显影不足
  • 检测不均匀径向膜厚

LED用于所有的对比方法

DM3 XL使用LED照明用于所有的对比方法。LED照明提供恒定的色温,并在所有强度水平上提供真实的彩色成像。

  • 逼真的彩色成像在所有强度水平
  • Adjustment-free
  • 没有灯泡交换-没有停机时间
  • 可重复的结果

具有较长的寿命和低功耗,LED也具有巨大的成本节约潜力。

光学高水平的测试人员

使用DM3 XL,您可以以实惠的价格从闪光卓越中受益。

  • 使用倾斜照明检查侧面、边缘或碎屑:从不同角度照亮样品,这是可视化地形图的一种简单有效的方法。
  • 用深度暗场对比检测样品下层的微划痕或小颗粒。

你会被急剧提高的灵敏度和分辨率所震惊。

了解更多关于我们在徕卡光学中心

各种样品-可变的阶段插入

无论您希望检查的样本大小和样本类型如何,您都可以从各种阶段插入件中进行选择:

  • 舞台尺寸:150毫米x 150毫米
  • 舞台插片:金属插片、晶片支架或掩膜支架
  • 快速粗或精阶段定位

舒适,直观地工作

简化分辨率,对比度和景深的基本设置,颜色编码隔膜助理(CCDA)有助于加快您的工作并最大限度地减少操作错误。

直接和直观的功能允许您的团队更快地交付最佳结果。

  • 把你的手放在显微镜上,你的眼睛在样品上,同时切换对比度或照明,这是很容易达到的控制
  • 用右手轻松操作灯光强度控制器
  • 调节显微镜到不同的身体高度可变麦角管和聚焦旋钮

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与我们的专家交谈。我们很乐意回答所有问题和疑虑。

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