检测快,行动快
微电子和半导体检测系统DM3 XL
在微电子和半导体工业的检查、过程控制或缺陷和失效分析中的速度问题。你越快发现缺陷,你的反应就越快。
增加30%的视野
dm3xl检查系统具有大视野,可以让您的团队更快地识别缺陷,提高成品率。利用独特的宏观目标增加30%的视野。
看得多,做得快
看到更多意味着更快地工作。为了快速扫描高达6英寸的大型组件,dm3xl提供了一个独特的宏观目标。
它的放大倍数为0.7倍,一次可捕获35.7毫米的视场,比其他传统扫描物镜多30%。
在宏观目标下,缺陷是不可能存在的:
- 提高产量
- 可靠地检测晶圆片边缘或中心的显影不足
- 检测不均匀径向膜厚
LED用于所有的对比方法
DM3 XL使用LED照明用于所有的对比方法。LED照明提供恒定的色温,并在所有强度水平上提供真实的彩色成像。
- 逼真的彩色成像在所有强度水平
- Adjustment-free
- 没有灯泡交换-没有停机时间
- 可重复的结果
具有较长的寿命和低功耗,LED也具有巨大的成本节约潜力。
光学高水平的测试人员
使用DM3 XL,您可以以实惠的价格从闪光卓越中受益。
- 使用倾斜照明检查侧面、边缘或碎屑:从不同角度照亮样品,这是可视化地形图的一种简单有效的方法。
- 用深度暗场对比检测样品下层的微划痕或小颗粒。
你会被急剧提高的灵敏度和分辨率所震惊。
了解更多关于我们在徕卡光学中心。
各种样品-可变的阶段插入
无论您希望检查的样本大小和样本类型如何,您都可以从各种阶段插入件中进行选择:
- 舞台尺寸:150毫米x 150毫米
- 舞台插片:金属插片、晶片支架或掩膜支架
- 快速粗或精阶段定位
舒适,直观地工作
简化分辨率,对比度和景深的基本设置,颜色编码隔膜助理(CCDA)有助于加快您的工作并最大限度地减少操作错误。
直接和直观的功能允许您的团队更快地交付最佳结果。
- 把你的手放在显微镜上,你的眼睛在样品上,同时切换对比度或照明,这是很容易达到的控制
- 用右手轻松操作灯光强度控制器
- 调节显微镜到不同的身体高度可变麦角管和聚焦旋钮
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与我们的专家交谈。我们很乐意回答所有问题和疑虑。
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